长春半导体电子级氢氟酸

氢氟酸：使用蚀刻剂移动或蚀刻一层二氧化硅的部分，一种常见的蚀刻剂是氢氟酸。这通常使用浸入过程来完成，其中晶圆或一个或多个含有多个晶圆的载体浸入所需的含氢非或酸流体的处理液中。浸入式蚀刻凹槽的缺点之一...

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